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德國弗萊貝格MDPinlinescan(MDP在線晶圓片/晶錠點掃或麵掃檢測儀)是一款靈活的OEM設備,可以用於多種不同樣品的在線壽命測量:從單晶到多晶矽錠,從生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控製。配置標準軟件接口,易於連接到許多處理或自動化係統。
MDPinline(MDP高速晶圓片在線麵檢測儀--少子壽命檢測)是一種用於快速定量測量載流子壽命並集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器,在不到一秒的時間內,就可以“動態”測量出晶圓圖。該儀器可為每個晶圓片提供完整的拓撲結構,有效提高了生產線的成本效益和效率。且其實時質量檢測可以提高和優化諸如擴散和鈍化等處理步驟。
德國弗萊貝格儀器的MDPinline ingot(MDP晶錠在線麵掃檢測儀--進口少子壽命測試)係統是快速多晶矽晶錠電學參數特性測量工具。它是專為高通量工廠的單塊晶錠測試而研發的。每塊晶錠可以在不到一分鍾時間裏測量其四麵。所有的圖譜(壽命,光電導率,電阻率)都可以同時進行測量。
德國Freiberg Instruments的MDPicts(MDP微波探測光誘導電流瞬態譜儀--少子壽命),非接觸且無損傷,用於溫度依賴的少數載流子壽命測量以及半導體的界麵陷阱和體陷阱能級的電性能表征。MDpicts將在半導體材料的基礎研究與開發領域取得廣泛的應用。
台式PID(Potential Induced Degradation)潛在誘導退化測試儀,用於c-Si太陽能電池和光伏迷你組件的售前和安裝後質量檢測。
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